微纳制造是加工、制造微纳器件一系列技术的统称，集成电路、微纳谐振腔、微流控、微纳光机电系统等都依赖于微纳制造，微纳制造的工艺质量是决定器件性能的关键因素之一。
本课题组在微纳加工制造工艺研究方面深耕多年，对核心微纳制造工艺步骤如沉积、光刻、刻蚀等步骤进行了深入研究分析与优化，实现了光学芯片的超低损耗，为学术界和工业界的应用提供了重要的实验支撑，并与国内外知名高校开展深度合作。
